GHW-12Z ENI 射頻等離子體發(fā)生器

型號(hào)：GHW-12Z

品牌：ENI

制造商：ENI

系列：GHW

分類：
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描述

產(chǎn)品描述

GHW-12Z ENI射頻等離子體發(fā)生器產(chǎn)生射頻等離子體。

特征：

具有自我尋址、自我定位、自動(dòng)I/O檢測等特點(diǎn)。

GHW-12Z ENI射頻等離子體發(fā)生器是一種高性能、高可靠性的射頻電源，專為產(chǎn)生射頻等離子體而設(shè)計(jì)。

GHW-12Z ENI射頻等離子體發(fā)生器采用先進(jìn)的射頻技術(shù)和控制電路，具有快速響應(yīng)、高精度、高穩(wěn)定性等特點(diǎn)。同時(shí)，它還具備自我保護(hù)和故障診斷功能，確保設(shè)備的長期穩(wěn)定運(yùn)行。

GHW50 13.56 MHz、5 kW射頻等離子體發(fā)生器提供經(jīng)過現(xiàn)場驗(yàn)證的可靠性、卓越的穩(wěn)定性和無與倫比的可重復(fù)性，可實(shí)現(xiàn)高正常運(yùn)行時(shí)間和工藝良率。GHW系列射頻等離子體發(fā)生器可提供208 VAC和400/480 VAC電壓。GHW RF等離子體發(fā)生器非常適合集成電路、平板顯示器和數(shù)據(jù)存儲(chǔ)設(shè)備制造過程中的等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積(PECVD)、高密度等離子體CVD(HDPCVD)、蝕刻和其他薄膜應(yīng)用。

應(yīng)用領(lǐng)域

GHW-12Z ENI射頻等離子體發(fā)生器廣泛應(yīng)用于主要應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)、材料科學(xué)、生物醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域，如等離子體刻蝕、薄膜制備、表面處理等。


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先介紹幾點(diǎn)經(jīng)驗(yàn)。
1、先通讀一遍“系統(tǒng)手冊(cè)”（不管能不能看懂，先了解個(gè)大概，以便學(xué)習(xí)編程時(shí)查找）；
2、由位控邏輯入手，逐漸增加定時(shí)、計(jì)數(shù)等條件，把或、與、非關(guān)系理順；
3、進(jìn)而練習(xí)整數(shù)運(yùn)算、實(shí)數(shù)運(yùn)算、類型轉(zhuǎn)換；
4、量程轉(zhuǎn)換、PID調(diào)節(jié)回路的建立及P、I、D參數(shù)的理解（最好是有個(gè)物理回路驗(yàn)證，比如變頻器+電機(jī)+測速傳感器）；
5、循環(huán)、順序、跳轉(zhuǎn)等程序控制（盡量避免跳轉(zhuǎn)，非跳不可時(shí)也是跳的越近越好）；
6、中斷、通訊、位置控制....

本人以ABB工業(yè)機(jī)器人配件DSQC系列和Motorola MVME系列，GE 卡件 模塊 驅(qū)動(dòng)器系列為主攻。各位電工朋友可根據(jù)自己的條件選擇適合自己的PLC品牌，由于PLC的基本框架大同小異，學(xué)會(huì)一種至于其它的學(xué)習(xí)起來也就簡單了。

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