這些操作數(shù)應(yīng)當(dāng)被合適的配置以執(zhí)行特定的功能。只要按鈕被按下,操作數(shù)就保持確定狀態(tài),當(dāng)按鈕被釋放后,操作數(shù)才返回。用100毫秒的返回延時(shí)來確??焖侔粹o操作被可能將控制按鈕作為輸入使用的各個(gè)部分辯認(rèn)。當(dāng)按下一個(gè)控制按鈕時(shí),一個(gè)事件將被記錄進(jìn)事件記錄(如用戶設(shè)定的一樣)。當(dāng)按鈕被釋放后沒有事件被記錄。面板上的鍵(包括控制鍵)不可以被同時(shí)操作蜒在按下一個(gè)按鍵之前必須釋放已按下的鍵。每個(gè)按鈕分別給出自己的啟用和停用操作數(shù)。應(yīng)當(dāng)利用靈活邏輯編程實(shí)現(xiàn)預(yù)定的按鈕行為。操作數(shù)的名字是按鈕1接通和按鈕1斷開。
UNIT MFC UFC-1661C N2 500 SCCM SIH4 MASS FLOW CONTROLLE
UNIT MFC UFC-1661C N2 90 SCCM MULTIFLO MASS FLOW CONTRO
UNIT MFC UFC-1661C N2 15 SLM MASS FLOW CONTROLLER
UNIT MFC UFC-1661C N2 2SLM MULTIFLO MASS FLOW CONTROLLE
UNIT MFC UFC-1661C N2 250 SCCM MULTIFLO MASS FLOW CONTR
UNIT MFC UFC-8100 N2 1 SLM MASS FLOW CONTROLLER ELASTOM
AERA MFC TC FC-D980C N2 200 SCCM MASS FLOW CONTROLLE
MKS SENSOR PRESSURE 621C11TBFHC 10 TORR
TEL TOKYO ELECTRON 2181-020010-17 PCB ASSY STC-P
ORIENTAL MOTOR VEXTA 5-PHASE STEPPING MOTOR UNIT UDX510
APPLIED MATERIALS MANIFOLD WAFER SOURCE 13″ SST 0050-2
APPLIED MATERIALS 0040-54102 LID,CHAMBER, 200MM
SMC HEC-MC8E-X87 CHILLER CONTROLLER
EUROTHERM 34774*11595 BAKE PANEL
TEL TOKYO ELECTRON 2110-334091-11 HEAT INSULATOR
Applied Materials PN 0190-08535 Shield Assembly
MKS 631B11TBFH CAPACITANCE MANOMETER 10 TORR