產(chǎn)品說明

BROOKS 001-4130-03是一款用于半導(dǎo)體制造設(shè)備中的晶圓搬運和定位的控制器 它通過高精度定位和校準(zhǔn)技術(shù)，確保晶圓在搬運和定位過程中的精確性，從而提高半導(dǎo)體制造的效率和產(chǎn)品質(zhì)量

產(chǎn)品參數(shù)

型號：001-4130-03

品牌：Brooks Automation

系列：VCE系列

控制精度：納米級別的定位精度

工作溫度范圍：-40°C至80°C

通信接口：RS-232,Ethernet,GPIB

編程語言：支持梯形圖、語句表等

重復(fù)定位精度：≤1秒

產(chǎn)品規(guī)格

控制精度：亞微米級別的對齊精度

動態(tài)響應(yīng)速度：快速響應(yīng)，適應(yīng)高速生產(chǎn)節(jié)奏

穩(wěn)定性與可靠性：在惡劣環(huán)境下保持高精度和穩(wěn)定性

系列

BROOKS 001-4130-03屬于Brooks Automation的VCE系列，該系列提供高性能且易于使用的解決方案

特征

高精度對準(zhǔn)：采用先進(jìn)的控制算法和高精度伺服電機，確保晶圓在X、Y和θ方向上的精確對準(zhǔn)

用戶友好界面：直觀的用戶界面，簡化操作和設(shè)置

實時監(jiān)控和反饋：具備實時監(jiān)控功能，提供實時對齊反饋，確保過程控制的準(zhǔn)確性和及時性

多種對齊模式：支持多種對齊模式和策略，適應(yīng)不同應(yīng)用場景和需求

可編程性：支持用戶根據(jù)具體應(yīng)用進(jìn)行編程和定制，以實現(xiàn)最佳對準(zhǔn)結(jié)果

堅固耐用：設(shè)計堅固耐用，在惡劣的生產(chǎn)環(huán)境中穩(wěn)定運行，減少停機時間和維護(hù)成本

作用

BROOKS 001-4130-03的主要作用是通過高精度定位和校準(zhǔn)技術(shù)，確保晶圓在搬運和定位過程中的精確性，從而提高半導(dǎo)體制造的效率和產(chǎn)品質(zhì)量

用途

該控制器廣泛應(yīng)用于以下領(lǐng)域：

半導(dǎo)體制造：包括晶圓清洗、光刻、蝕刻、沉積等工藝

太陽能電池制造：用于太陽能電池板的晶圓對準(zhǔn)操作

LED制造：用于LED芯片的精準(zhǔn)對準(zhǔn)

其他精密制造應(yīng)用：如計量、薄膜沉積等

應(yīng)用領(lǐng)域

BROOKS 001-4130-03主要應(yīng)用于半導(dǎo)體制造行業(yè)，同時也在太陽能電池、LED制造等領(lǐng)域具有重要應(yīng)用價值