產(chǎn)品說(shuō)明：

LAM 853-150806-001是一款高精度光譜儀模塊，主要用于半導(dǎo)體制造設(shè)備中材料組成測(cè)量及控制。該模塊屬于ASM,EIOC CONTA MINI系列，設(shè)計(jì)用于精確控制半導(dǎo)體制造過(guò)程中的關(guān)鍵參數(shù)。

產(chǎn)品參數(shù)：

型號(hào)：853-150806-001

適用晶圓尺寸：8英寸。

工作電壓：220V。

輸出頻率：50kHz。

尺寸：100mm x 100mm x 10mm。

重量：約1kg。

材質(zhì)：陶瓷。

認(rèn)證：CE,WEEE。

產(chǎn)品規(guī)格：

功能：光源照射、樣品室檢測(cè)、測(cè)量材料組成。

技術(shù)特點(diǎn)：高精度、高效率、高可靠性，采用成熟技術(shù)確保設(shè)備穩(wěn)定運(yùn)行。

應(yīng)用工藝：RIE（反應(yīng)離子刻蝕）、ICP（感應(yīng)耦合等離子體）。

系列：

該產(chǎn)品屬于ASM,EIOC CONTA MINI系列。

特征：

高精度：適用于精密測(cè)量和控制半導(dǎo)體制造過(guò)程中的關(guān)鍵參數(shù)。

高性能信號(hào)處理：先進(jìn)的信號(hào)處理技術(shù)保證了設(shè)備在長(zhǎng)時(shí)間運(yùn)行中的穩(wěn)定性和可靠性。

緊湊設(shè)計(jì)：體積小巧，便于集成到現(xiàn)有系統(tǒng)中。

耐用性：采用高質(zhì)量材料制造，能夠在工業(yè)條件下長(zhǎng)期穩(wěn)定運(yùn)行。

作用：

LAM 853-150806-001的主要作用是測(cè)量半導(dǎo)體材料的組成，并通過(guò)精確控制工藝參數(shù)來(lái)優(yōu)化生產(chǎn)效率和產(chǎn)品質(zhì)量。

用途：

該產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造設(shè)備中，包括集成電路、功率器件、光電器件、MEMS器件等的生產(chǎn)。

應(yīng)用領(lǐng)域：

LAM 853-150806-001主要應(yīng)用于半導(dǎo)體制造行業(yè)，特別是在需要高精度材料組成測(cè)量和控制的場(chǎng)景中。